Nexview™ 650: Kiểm tra & Đo lường khổ lớn
Kiểm tra & Đo lường khổ lớn
Hệ thống đo lường Nexview™ 650 là công cụ kiểm tra để đo tự động các dụng cụ ép phun, PCB, tấm kính và các mẫu khác yêu cầu khối lượng làm việc mở rộng lên tới 650 x 650 mm. Nó cung cấp các phép đo 2D & 3D của nhiều đặc điểm bề mặt khác nhau với độ chính xác theo chiều dọc dưới nanomet và độ chính xác theo chiều ngang dưới micron.
Hiệu suất mạnh mẽ
Giao thoa kế quét mạch lạc (CSI) là công nghệ đo lường cốt lõi của hệ thống Nexview™ 650.
Kỹ thuật không tiếp xúc này mang lại lợi ích đo lường bề mặt có độ chính xác cao và giá trị cao bao gồm:
Đo hầu như tất cả các loại bề mặt, từ thô đến siêu mịn, bao gồm màng mỏng, sườn dốc và bậc thang lớn.
Độ chính xác của phép đo dưới nanomet không phụ thuộc vào độ phóng đại trường
Hiệu suất của thiết bị đo - độ chính xác và khả năng lặp lại vượt trội dành cho các ứng dụng sản xuất đòi hỏi khắt khe nhất.
Công nghệ chống rung SureScan™ - hoạt động mạnh mẽ trong hầu hết mọi môi trường.
Phần mềm Mx™ cho phép trao đổi dữ liệu liền mạch với các Trình cấu hình ZYGO khác bao gồm ZeGage™ Pro , NewView™ 9000 và Nexview™ NX2 .
Tối đa hóa ROI
Nexview™ 650 đã được thiết kế và chế tạo để đảm bảo hệ thống mang lại giá trị trong nhiều năm tới. Với khu vực đo lường có thể chứa kích thước ngang lên tới 650 x 650 mm và tải mẫu > 100 kg, phạm vi dọc 150 mm và các tùy chọn cho hệ thống kín hoàn toàn hoặc kín một phần, Nexview™ 650 mang đến sự linh hoạt tối đa cho các ứng dụng lớn các mẫu yêu cầu định hình quang học 3D chính xác.
Ví dụ. Hệ thống này chứa
Bất kỳ kích thước bảng nền PCB tiêu chuẩn nào hiện nay
Giá đỡ mẫu được xác định tùy chỉnh cho các tấm linh hoạt, v.v. có thể được triển khai mà không cần quan tâm nhiều đến khối lượng của chúng trên bệ Y tải cao
Các tấm ép phun lớn, khối lượng lớn được hưởng lợi từ việc kiểm tra không tiếp xúc chính xác để giảm thiểu hư hỏng bề mặt chính xác có thể xảy ra
Các mâm cặp và giá đỡ mẫu tùy chỉnh có thể được thiết kế hoặc cung cấp cho khách hàng để điều chỉnh hệ thống cho các tấm nhỏ hơn hoặc thậm chí các chất nền đơn lẻ nhằm tối đa hóa tính linh hoạt của ứng dụng.
Và phần mềm tự động hóa theo công thức tích hợp của hệ thống cho phép đo lường rảnh tay nhiều tính năng trên mỗi bảng, tất cả trong một máy trạm duy nhất, giảm thời gian sản xuất và nâng cao kiến thức về quy trình.