Máy đo độ nhám SURFCOM NEX 200 là một dòng máy mới được phát triển của Accretech với những tính năng vượt trội mà các thế hệ trước không có.

ĐẶC TRƯNG

Đầu đo Hybrid mới giúp đo đồng thời cả biên dạng và độ nhám.

Được trang bị các đầu đo Hybrid có thể đo đồng thời cả biên dạng và độ nhám trong cùng một phép đo. Ngoài ra phạm vi đo của đầu đo Hybrid cũng được mở rộng hơn gấp đôi phạm vi của các máy thông thường.

Truyền động tuyến tính

SURFCOM NEX 200 kế thừa bộ truyền động động cơ tuyến tính, một công nghệ đã được cấp bằng sáng chế của ACCRETECH, từ dòng SURFCOM NEX trước đó. Cơ chế truyền động rung cực thấp giúp giảm nhiễu do rung và cho kết quả đo có độ chính xác cao.

Hơn nữa, bằng tính năng bù trừ sự thay đổi nhiệt độ theo thời gian thực, độ chính xác có thể được đảm bảo trong phạm vi nhiệt độ rộng 20 ± 5 độ C. Có thể đạt được kết quả đo đáng tin cậy ngay cả trong môi trường khó kiểm soát nhiệt độ.

Cơ chế an toàn khi va chạm

Trong trường hợp xác định phần thân bên trái và bên dưới của máy dò có thể va chạm với phôi, v.v., cảm biến sẽ phản ứng và cơ chế an toàn sẽ dừng.

Ngoài ra, do bộ truyền động tuyến tính sử dụng động thẳng nên nó có kết cấu trượt cho phép giải phóng lực khi tác dụng lực lớn lên hướng truyền động (hướng trục X).

Phạm vi đo được mở rộng lên tới 26mm

Phạm vi đo trục Z là 13 mm, rộng hơn 2,6 lần so với các đầu đo trước đây.

Ngoài phạm vi đo rộng, nó còn có độ phân giải cao 0,0009 μm trên toàn bộ phạm vi đo theo hướng trục Z (với kim đo LH=50 mm).

Hơn nữa, với kim đo LH=100 mm* mở rộng phạm vi đo lên 26 mm

Một kim đo cho cả phép đo độ nhám và độ nhám là tùy chọn.

SURFCOM NEX 200

Đầu đo Hybrid đo cả độ nhám và biên dạng.

Đầu dò mới được phát triển có phạm vi đo trục Z là 13 mm, rộng hơn 2,6 lần so với các đầu đo trước đây.

Đầu dò tích hợp đo độ nhám và biên dạng

Độ chính xác: ± (1.0 + | 2H |/100) µm

Phạm vi đo (trục Z): 13 mm (với kim đo có LH = 50 mm)