Tính năng của hệ thống xử lý wafer cổng tải RV201-F07-C
Mô hình cổng tải RV201-F07-C có thể xử lý FOUP, FOSB cửa tự động và băng mở 200 mm trong một đơn vị và cho phép chuyển đổi thời gian ngắn giữa các hãng. Cơ chế đóng / mở cửa của mô hình tiêu chuẩn được kế thừa, việc mở / đóng cửa FOUP được kiểm soát chính xác và hiệu suất làm sạch ở mức độ cao được thực hiện.
Có sẵn cho FOUP và FOSB cửa tự động như là một tiêu chuẩn.
Hiệu suất sạch cao đạt được nhờ cơ chế đóng / mở cửa ban đầu và kiểm soát chuyển động chính xác.
Có sẵn cho băng mở 200 mm bằng cách sử dụng bộ chuyển đổi giai đoạn.
Thông số kỹ thuật chính của sản phẩm
Có sẵn cho băng mở
Cung cấp năng lượng
DC24V ± 10% 6A
Không khí nén
0,5MPa đến 0,6MPa, 10L / phút trở lên
Khoảng chân không
-60kPa đến -80kPa, 10L / phút trở lên
N2
-
Kích thước sản phẩm (RV201-F07-C)
