Ngày đăng: 17/12/2019
Liên hệXuất xứ: Khác
Bảo hành: liên hệ
Phương thức thanh toán: tiền mặt hoặc chuyển khoản
Khả năng cung cấp: theo nhu cầu của khách hàng
Đóng gói: liên hệ
Liên hệThông số kỹ thuật chính của hệ thống xử lý wafer Robot khí quyển RR759L27
Cánh tay / Lưỡi
Gấp đôi
Chiều dài cánh tay [mm]
270
Hành trình trục Z [mm]
190/420/550
Tối đa vị trí chuyển [mm]
R962 Cho wafer 300mm
Thúi. phạm vi [độ]
420
Độ chính xác chuyển [mm]
± 0,1
Sạch sẽ theo tiêu chuẩn ISO
1
Bán kính quay
R320 Thay đổi theo phần cổ tay và chiều dài ngón tay.
Đặc tả bộ mã hóa
Tuyệt đối
Kích thước sản phẩm (Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn)