Thông số kỹ thuật chính của hệ thống xử lý wafer EFEM

Kiểu

RSC131

Số lượng cổng

2 môn thể thao

Chuyển đối tượng

Tấm wafer 300mm: dia. 300 ± 0,2mm, Độ dày: 775μm

Vận chuyển

FOUB 25-slot 300mm (SEMI E47.1) FOSB 25-slot 300mm (SEMI M31)

Điện áp

AC một pha 200V đến 220 V ± 10%, 50 / 60Hz ± 5%

Tiêu thụ hiện tại / dt>

4kVA (20A / 200V AC) Bao gồm FFU

Chân không (áp suất nguồn)

-80kPa -90kPa

Chân không (tốc độ dòng chảy)

40L / phút

Áp lực dương (áp lực nguồn)

0,6MPa ～ 0,7MPa

Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)

20L / phút

Đầu ra liên hệ EMO

2 hệ thống (tiếp xúc khô)

Khóa liên động

Đầu vào: 8 điểm / Đầu ra: 8 điểm (I / O cách điện)

Kiểu

RSC141

Số lượng cổng

3 môn thể thao

Chuyển đối tượng

Tấm wafer 300mm: dia. 300 ± 0,2mm, Độ dày: 775μm

Vận chuyển

FOUB 25-slot 300mm (SEMI E47.1) FOSB 25-slot 300mm (SEMI M31)

Điện áp

AC một pha 200V đến 220 V ± 10%, 50 / 60Hz ± 5%

Tiêu thụ hiện tại / dt>

4kVA (20A / 200V AC) Bao gồm FFU

Chân không (áp suất nguồn)

-80kPa -90kPa

Chân không (tốc độ dòng chảy)

50L / phút

Áp lực dương (áp lực nguồn)

0,6MPa ～ 0,7MPa

Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)

30L / phút

Đầu ra liên hệ EMO

2 hệ thống (tiếp xúc khô)

Khóa liên động

Đầu vào: 8 điểm / Đầu ra: 8 điểm (I / O cách điện)

Kiểu

RSC151

Số lượng cổng

4 môn thể thao

Chuyển đối tượng

Tấm wafer 300mm: dia. 300 ± 0,2mm, Độ dày: 775μm

Vận chuyển

FOUB 25-slot 300mm (SEMI E47.1) FOSB 25-slot 300mm (SEMI M31)

Điện áp

AC một pha 200V đến 220 V ± 10%, 50 / 60Hz ± 5%

Tiêu thụ hiện tại / dt>

4kVA (20A / 200V AC) Bao gồm FFU

Chân không (áp suất nguồn)

-80kPa -90kPa

Chân không (tốc độ dòng chảy)

60L / phút

Áp lực dương (áp lực nguồn)

0,6MPa ～ 0,7MPa

Áp suất dương (tốc độ dòng chảy)

40L / phút

Đầu ra liên hệ EMO

2 hệ thống (tiếp xúc khô)

Khóa liên động

Đầu vào: 8 điểm / Đầu ra: 8 điểm (I / O cách điện)

Kích thước sản phẩm (RSC141)

Tùy chọn

Hệ thống giảng dạy tự động

Máy ion hóa

Bộ lọc hóa học

Bộ đệm trong

RF-ID và đầu đọc mã vạch

E84

Cổng tải với thanh lọc N2 / XCDA

Mặt dây chuyền giảng dạy

Tính năng sản phẩm

Hệ thống chuyển tốc độ cao được thực hiện bằng cách lắp robot sạch loại mới và trục theo dõi tuyến tính tốc độ cao. Kết nối với OHT và AGV có sẵn.

Thông lượng cao hơn có thể đạt được bằng cách gắn hai căn chỉnh.

Tương ứng với loại kẹp chân không và loại kẹp cạnh (tùy chọn).

Sử dụng tương thích các tác phẩm 200mm và 300mm (tùy chọn).