Đặc điểm của bơm khuếch tán dầu dòng ULK 

Được thiết kế cho áp suất hồi quan trọng

Hiệu suất cực kỳ ổn định ở áp suất xuống đến 10-2 Pa (10-4 torr)

Sử dụng mặt bích ống (ngoại trừ mặt bích thông hơi trên ULK-04A và 06A)

Bơm có thể được làm sạch dễ dàng (các bộ phận có thể được tháo rời dễ dàng).

Đi kèm với cơ chế dừng dòng chất lỏng vận hành đến máy bơm phụ.

Link catalogue chi tiết: https://ulvac.com.vn/san-pham/vacuum-component/bom-chan-khong/bom-khuech-tan-dau-dong-ulk/